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전공정 장비​. 실리콘 웨이퍼를 가공하여 칩을 만드는 과정에서 사용하는 장비
Expose M/C, Photo Resist M/C, 산화/확산 처리장비, 불순물 주입 장비, PVD, CVD, 평탄화 장비, 세정·건조장비, Wafer 검사 장비