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"탄소나노튜브, 차세대 반도체 공정의 핵심" [긱스]
한국경제 | 2025-03-25 17:23

반도체 제조 과정에서 펠리클은 필수다. 펠리클은 반도체 회로 패턴을 덮어 이물질이 묻지 않
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