* 4대 반도체 제조 핵심 장비 중 하나 자체 개발

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~ 과기일보에 따르면 이온 주입기는 노광기, 식각기, 박막 증착 장비와 함께 반도체(칩) 제조 4대 핵심 장비로 불린다. 수소 이온을 나노급 정밀도로 실리콘 웨이퍼에 주입해 전기차 전력 제어 칩, 전력 변환용 칩 등 전력 반도체의 성능과 수명을 결정하는 핵심 공정을 담당한다

~ 아울러 전량 수입에 의존하던 수소 이온 주입기를 자체 개발함으로써 …