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에프에스티(FST)가 극자외선(EUV) 노광 공정용 펠리클(Pellicle) 양산 공급을 앞두고 있다. EUV 펠리클은 기존 심자외선(DUV) 공정에서 쓰는 펠리클 대비 공급 단가가 수십배 이상 비싼 고부가 제품이다. 향후 사용량도 늘어날 전망이어서 FST 매출 확대에 크게 기여할 것으로 예상된다.

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2일 업계에 따르면 FST는 최근 삼성전자와 EUV 펠리클 공급 단가 확정을 위해 협상 중이다. 이르면 올 연말부터 제품이 공급될 수 있다.

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이 사안에 정통한 관계자는 "사실상 공급 초읽기에 들어간 것"이라면서 "삼성전자는 내년 초부터 양산할 최신 2나노 파운드리 공정 가운데 일부 중요한 EUV 공정용 마스크에 FST 펠리클을 적용한다는 계획을 세웠다"고 설명했다. 삼성전자는 향후 점진적으로 EUV 펠리클 적용을 확대한다.

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공급 단가는 개당 5000만원 미만에서 논의되고 있다. ArF나 KrF 등 기존 DUV용 펠리클 개당 단가가 수십만원에서 가장 비싼 제품이 100만원 정도인 점을 감안하면 상당히 높은 부가가치를 가진 제품이다.

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출처 : 전자부품 전문 미디어 디일렉(http://www.thelec.kr)