TSMC, 1.4nm·1nm 첨단 공정에 '포토마스크 펠리클' 도입 추진
더구루 | 2025-10-23 15:46
[더구루=정예린 기자] TSMC가 1나노미터(nm)급 초미세 공정에서 ASML의 차세대 극자외선(EUV) 노광 장비를 투입하는 대신 EUV 공정의 효율을 극대화하는 전략을 택했다.
내용보러가기
내용보러가기







