삼성 반도체, '비밀병기' CNT 펠리클 검사장비까지 개발했다 [강해령의 테크앤더시티]
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한국경제 | 2025-10-04 12:02
오늘은 삼성전자의 극자외선(EUV)용 탄소나노튜브(CNT) 펠리클 개발에 대해 업데이트하려

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