유니셈(036200)이 반도체 공정용 친환경 이산화탄소(Co2) 칠러 개발에 성공하고 글로벌 메이저 파운드리 회사에 데모 장비 납품을 앞두고 있다고 11일 밝혔다.(사진=유니셈)이

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