[단독] 삼성, 소재 재활용 상용화…네온가스 80% 다시 쓴다

삼성전자(005930)가 반도체 공정의 핵심 소재 중 하나인 네온가스를 회수·재활용하는 데 성공했다. 재활용 설비를 상용화하면서 배출가스를 고순도로 정제하면 전체 사용량의 80%를

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